概况及原理
气体循环冷却罗茨真空泵主要由转子1、转子2、泵体4、冷却器7 等组成，由于其特殊的结构设计，使其可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，但对泵的抽气性能没有任何影响。转子在泵腔内旋转并完成一次吸、排气的过程。冷却器和电机是每台泵必备的附件，冷却器和电机的规格是根据不同的工况而定。泵可以单独使用也可以多台串联使用，或与液环真空泵和普通罗茨真空泵串联成机组，达到更高真空度来满足各类工艺要求。
主要特点
1. 可以单独使用也多级串联使用或与液环泵串联使用。
2. 直排大气时的工作真空度可以达到150mbar。
3. 多级串联或和液环真空泵串联后可以达到中真空范围。
4. 特殊结构设计确保泵在高压差和高压缩比时不会过热过载。
5. 良好的动平衡试验和高精度机械加工确保产品运转平稳安静。
6. 先进的平衡式机械密封使泵的密封性能更优越。
7. 泵腔为无油结构，适用于抽除一般空气及各种特殊气体。
8. 与其它机械真空泵比较，节能效果显著。
应用范围：
罗茨真空泵的优点是在较低入口压力时仍具有较大抽气速率，但罗茨真空泵不能单独使用，必须与前级真空泵配套使用。当前级真空泵将系统压力抽到罗茨真空泵允许启动压力时，才可启动罗茨真空泵。根据不同的工作压力和工艺条件，罗茨真空泵的前级真空泵可采用油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵等。配置不同类别的前级真空泵后罗茨真空泵所能达到的极限压力有所不同。罗茨真空泵可广泛应用于需要大抽速和中等真空(10－1 －10－2Pa)的任何真空系统中,例如: 真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、灯管及灯泡制造、激光器制造、真空包装设备、汽车制造业、集中真空抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空除汽、真空脱水、真空冷冻干燥、真空蒸馏。
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