过滤器或过滤器堵塞，管道设计不良，吸入条件差以及泵在曲线上向右运行太远(高真空端)，对于这种类型的气蚀，真空泵的排气压力过高，例如，泵的有效率可降低10%，由于高排放率，流体不是从泵中流出，而是在内部循环。
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真空泵卡死故障维修方法
1、检查弹簧：弹簧损坏会使旋片受力不均匀，导致真空泵卡死。因此，需要检查弹簧的状态，如有损坏应更换新的弹簧。
2、检查设备装配：设备装配不当会使某局部受力，导致设备卡死。此时应重新装配设备，确保所有部件安装到位且配合良好。
3、检查过滤网：若过滤网损坏，会导致金属屑、颗粒等落入泵腔内，导致机械卡死。应将泵拆开检查、清洗干净，并更换损坏的过滤网。
4、调整端面间隙：端面间隙过小会使泵温升高，若泵温过高则会出现卡死现象。此时应修磨转子旋片，调整间隙至适当范围。
5、更换泵油：泵油变质或结垢、油黏度不恰当易导致泵出现卡死问题。此时应更换新的泵油，并确保油质干净、无杂质。
6、检查轴和轴套：轴和轴套配合过紧、缺油润滑也易导致泵出现卡死问题。此时应加强油路润滑，或更换合适的轴和轴套。
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