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供应LMX2E系统 供应LMX2E系统_金太客研磨(上海)科技有限公司_供应LMX2E系统

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公 司: 金太客研磨(上海)科技有限公司
发布时间:2013年08月07日
有 效 期:2014年02月03日
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薛文甫 先生 (业务人员)
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公司主页: http://kingtech.yiwz.com(加入收藏)
公 司:金太客研磨(上海)科技有限公司

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详细说明

    产品特征
直线度可达10um
X轴*大6m Y轴0.5m行程
以线性滑轨架构之定位平台
良好接地设计防止杂讯干扰
Z向震动可达奈米等级以下
*大速度可达5m/s
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统解析*低可达50nm
产品应用
半导体设备、自动化搬送、FPD设备、太阳能制造设备、PCB设备、水刀设备、钻石切割产业、AOI检测设备、工具机


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